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扬州真空腔系列
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真空腔体是为减少了半导体应用中真空腔的个数而研发的，而晶圆容量几乎不变。这种结构采用了配备有压差真空凹槽的预置空气轴承的移动真空。以上就是“扬州真空腔系列”相关先容，更多专业问题，欢迎致电询问。
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